平面度是形位公差之一，是指基板所具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。以下主要介紹平面度的檢平面度的定義。
平面度是指基片所具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。平面的平面度公差符號，基本表示方法，如下圖所示。

平面度測量方法。
平面度誤差是指被測實際表面對其理想表面的波動量，理想平面的位置應(yīng)符合最小條件，平面度誤差屬于形位誤差中的形狀誤差。
平面度誤差測量的常用方法如下
1、液面法:液面法以液面為測量基準(zhǔn)面，液面由連通罐內(nèi)的液面構(gòu)成，用傳感器測量。該方法主要用于測量大平面的平面度誤差。
2、激光平面度測量儀:激光平面度測量儀用于測量大型平面的平面度誤差。
3、平晶干涉法:用光學(xué)平晶的工作面表現(xiàn)理想的平面，直接根據(jù)干涉條紋的彎曲程度確定被測量表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面，如測量規(guī)定的工作面和千分尺頭測量面的平面度誤差。
4、光束平面法:光束平面法采用基準(zhǔn)值望遠鏡和目標(biāo)鏡測量，選擇實際表面上最遠的3點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準(zhǔn)面。
5、鐘表測量法:鐘表測量法將被測量零件和微計放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板為測量基準(zhǔn)面，用微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向測量。鐘表測量法根據(jù)評價基準(zhǔn)面分為3點法和對角線法:3點法根據(jù)測量實際表面上最遠的3點決定的理想平面作為評價基準(zhǔn)面，實際測量時將測量實際表面上最遠的3點調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高度的對角線法實際測量時，將實際表面的4個角點根據(jù)對角線調(diào)整到2等高度。然后用測量儀測量，測量儀在整個實際表面測量的最大變動量是該實際表面的平面度誤差。
6、如何利用數(shù)據(jù)采集器連接百分表測量平面度誤差。
測量儀器:鐘擺、百分比表、數(shù)據(jù)收集儀。
優(yōu)勢:優(yōu)勢:
1)不需要人工用肉眼閱讀，可以減少人工閱讀產(chǎn)生的誤差
2)無需人工處理數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)收集器自動計算平面度誤差值。
3)測量結(jié)果通報，測量結(jié)果不在平面度公差帶時，數(shù)據(jù)收集器會自動通報。

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